舆论纲要：光子晶体环形谐振腔传输个性接洽及运用探究

光子晶体是一种周期性的光学纳米构造。像周期性的半半导体晶体不妨感化电子的动作一律，光子晶体被安排来感化光子的动作。光子晶体含有顺序性反复的上下介电常数地区。一致于半半导体生存对准电子的禁带构造，光子晶体也生存对光子的禁带构造。比拟保守光电或光学器件，光子晶体具备受电磁干预感化低、能源消耗低，安排精巧、不妨微型化至纳米标准，本能崇高、简单多功效单片集成等便宜，是将来光学器件的要害兴盛目标。 光子晶体环形谐振腔在2002年被提出并用来创造环形莱塞。因为光子晶体自己特出本能，该构造很快被用来举行波导、通信、传感等上面的接洽。正文开始运用平面波打开（PWE）法计划了对准横电模（TE）、横磁模（TM）的光带对应的禁带范畴和宽窄，比拟了几种基础晶格构造对应的能带，在此普通上采用符合的晶格陈设办法。经过时域有限差分（FDTD）法模仿光带在光子晶体中的传输，接洽了晶格常数、孔径半径、谐振腔巨细、基底资料等对光子晶体环形谐振腔传输个性的感化，并获得了处事射程在1550±0.1nm，半高全宽（FWHM）在1nm安排，品德因子Q为5000之上的高采用性光子晶体环形谐振腔滤波器件的安排构造参数，基础到达了预期安排诉求。随后商量了将光子晶体扩充运用于声学波段的本领和思维。 光子晶体的加工对精度的诉求很高。正文接洽了关系的工艺办法，经过电子束光刻贯串反馈离子刻蚀的本领，获得了加工缺点在10nm安排的光子晶体环形谐振腔抽样，并赢得了相映的工艺参数。经过搭建符合的光学尝试平台，对所得环形谐振腔抽样举行尝试，获得实地测量的光谱传输弧线，并领会了试验值与表面值出入的因为。结果经过磁控溅射，贯串X射线衍射和亚原子力显微镜领会，接洽了将该晶体阵列构造从红外波段扩充运用于微波波段所需的镀膜工艺中功率和温度的感化。